コート設備紹介
| 名称 | 型式 | 台数 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 1号機 | BC-8P | 1 | バッチ式 ドーム径400mm |
| 2号機 | MC500 | 1 | バッチ式 ドーム径400mm |
| 3号機 | CES-313 | 1 | 連続式 ドーム径720mm |
| 4号機 | ACE-1100DSI | 1 | バッチ式 ドーム径950mm |
| 5号機 | ACE-1300DS | 1 | バッチ式 ドーム径1,200mm |
| 6号機 | ACE-1300DS2 | 1 | バッチ式 ドーム径1,200mm |
| 7号機 | SID-1350D | 1 | バッチ式 ドーム径1,200mm |
| 8号機 | RAS-1100B | 1 | ロードロック式 ドラム径850mm |
- イオンアシスト、プラズマアシスト、スパッタ等信頼性の高い成膜での量産対応が可能です。
-
薄板ガラス(0.145T等)での成膜も対応可能です。
(信頼性の高い成膜法は応力のため反りが大きいですが、プラズマアシスト・スパッタではダイシング等後加工も可能な反りレベルです。)
