電子機器用ガラス

コート設備紹介

名称 型式 台数 備考
1号機 BC-8P 1 バッチ式 ドーム径400mm
2号機 MC500 1 バッチ式 ドーム径400mm
3号機 CES-313 1 連続式 ドーム径720mm
4号機 ACE-1100DSI 1 バッチ式 ドーム径950mm
5号機 ACE-1300DS 1 バッチ式 ドーム径1,200mm
6号機 ACE-1300DS2 1 バッチ式 ドーム径1,200mm
7号機 SID-1350D 1 バッチ式 ドーム径1,200mm
8号機 RAS-1100B 1 ロードロック式 ドラム径850mm
  • 蒸着機
  • スパッタ
  • イオンアシスト、プラズマアシスト、スパッタ等信頼性の高い成膜での量産対応が可能です。
  • 薄板ガラス(0.145T等)での成膜も対応可能です。
    (信頼性の高い成膜法は応力のため反りが大きいですが、プラズマアシスト・スパッタではダイシング等後加工も可能な反りレベルです。)
このページのトップに戻る